半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体材料舒适公测搭配涉重废液——MVR強制循环往复零排新项目
新项目底色
光电器件高性价比公测工作,企业规模150立米米/天,是首只光电器件公测配套设施涉重化工生产废水零排工作。公测重要环节的镀镍、镀铜、引线框架结构的清洗会产生了含镍含铜化工生产废水,园区规划规定"无尾水外排",产水所有的工业废水处理于产线。
环境质量特证与要点
废污水以含镍侧重于(密度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH振幅大(2–12),还是光刻胶残留物的大量有机的物。首测厂区域紧,想要加工装置占地面小;零排一味着浓水不是土石方工程不要,需要本地服务蒸发掉析出反馈控制。
加工艺自驾路线
建筑体走"分质收录 → 预加工处理除杂 → 化学上积淀除镍 → 脱水 → UF+二级RO → MVR强行无限循环汽化 → 冷疑水中水回用":
含镍线先调pH到10–11,加药氢被氧化的钠产生Ni(OH)₂乳浊液,加个混炼橡胶钠进一步捕集器残渣镍(混炼橡胶镍Ksp比氢被氧化的镍更小,会把镍压到0.1毫克/升以下的);
滤渣出水量经多导电介质脱水+保安队脱水后进UF,再进1阶段RO,产水可以直接回产线清洁;
RO浓水(含盐+残留物天价属)进MVR二次嵌套配置多效冷凝器,二次嵌套配置能扛高含盐积灰,多效冷凝器自己带上网上的清洗,不方便堵;
MVR冷凝水水重回循环水槽,化掉残液委外焚烧处理或是垃圾处理,一整个厂内无等离子态外排。
重要的设备特点详细说明
MVR强迫重复相对通常降膜挥发,重复空气流速高、对流换热系数面不能结镍盐/碳酸盐垢,可以测封此类"出水量很大但水环境杂"的的场景;一体式化撬装设计的占地面比过去的挥发塘+多效挥发方案格式小60%以上的;恶臭侧设备配套生物工程滤池,把调低池和厌氧颗粒污泥间的恶臭征集后挥发成CO₂和水,防止出现测封厂挨着工作区的刺激性气味匿名举报。
除理效率与利润
冒水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,强于《电镀层废弃物物尾气污水排卸标准单位标准单位》表三;其他150每立方米/天产水使用于首测产线清洁工作,混用等量鲜美水;危废处理(蒸发器残液+活性污泥)量比以往"结晶+尾气污水排卸标准单位"传统模式减约70%。对富士康侧,首测工作环保型准入的卡点遭打通;