某半导电子器件制作厂在晶圆加工厂工作中，选择硅烷通过硅本质生长发育，氮氧化合物清洗塔带来高溶度含硅焦化废渣。焦化废渣享有pH波动性大（2-11）、硅浓度高的优点，民俗清理方式易诞生硅垢淤塞困难。 废液成份及渠道 生产废水最主要的组成为： 融掉性硅酸盐 ：SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L 浓盐酸/氢钝化钠 ：洗衣机清洗塔耐酸碱洗衣机清洗液残余的 粉末硅 ：微米级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 ：物料杂物带到 解决工序标准流程 改革创新所采用"有级中合+膜活性炭过滤+挥发凝结"技术： 四级结合 ：用CaO设定pH至4-5，转化硅酸钙悠长岁月中，硅避开率60%。 两级与 ：加Na₂CO₃将pH提拔至9，进一个步骤凝固多余硅，串连用镁剂除砷。 反渗透装置设备 ：0.02μm瓷砖膜活性炭过滤nm级硅粒状，通量比较稳定在80LMH。 MVR化掉器 ：溶缩高盐废水处理方法，凝结出Na₂SO₄副的产品，水工业废水处理率超90%。 结果是目的 总硅从1500mg/L下降5mg/L一些 砷分子量从0.8mg/L降下来0.01mg/L 体系无水垢开机运行已经超过2年 每一年收售氢氧化钠钠结晶体约800吨