该厂为89英寸晶圆生产销售线配合的超超纯水装置,每天都在出现含硅工业化废水150吨。工业化废河中虽无巨资属,但硅成分高易结渣,且电容率需达标18MΩ·cm性能工业化废水加工。原先的鑫霖环保技术难以满意新废止的《光学工业化水被污染的物废气环保标准》(GB39731-2020)特意废气污染物最大限度。
废水处理方法材质性能
关键被污物
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、科粒硅(粒级0.1-1μm)
特别必须
:TOC<10μg/L,硼含氧量<5μg/L
地表水特征参数
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅类化合物价值形式麻烦
加工鑫霖环保步骤流程
改革创新用"梯级膜离心分离+电去铁离子"结构的工艺:
微滤预工作
:1μm瓷器膜阻拦大颗粒物硅,通量达到80LMH
铝离子更换不饱和树脂
:D201大孔树脂胶挑选性吸硅酸氧分子
特殊RO操作系统
:第1段收售率60%,第十二段主要采用高脱硼膜元器件封装
EDI电去铝离子
:瞬时电流高密度2A/m²,连续清理残存铁离子
分光光度计消毒杀菌
:254nm紫外光线的用药量40mJ/cm²
技术设备特色
开发技术使用阻硅剂(有机质胺类和好物),延长膜被污染的期限3倍
EDI版块创新发展流道来设计,硅除掉率改善至99.8%
网上硅定性分析仪器(衡量时间范围0.1-500μg/L)推动优质有效控制
运动效益
经再者方检测工具:
总硅从280mg/L高于0.05mg/L
硼含碳量从8μg/L降下来0.3μg/L
体系回笼率从原40%提高了至68%
膜更改周期性延迟至5年,年运营直接费用缩减35%