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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为89英寸晶圆生产销售线配合的超超纯水装置,每天都在出现含硅工业化废水150吨。工业化废河中虽无巨资属,但硅成分高易结渣,且电容率需达标18MΩ·cm性能工业化废水加工。原先的鑫霖环保技术难以满意新废止的《光学工业化水被污染的物废气环保标准》(GB39731-2020)特意废气污染物最大限度。 废水处理方法材质性能 关键被污物 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、科粒硅(粒级0.1-1μm) 特别必须 :TOC<10μg/L,硼含氧量<5μg/L 地表水特征参数 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅类化合物价值形式麻烦 加工鑫霖环保步骤流程 改革创新用"梯级膜离心分离+电去铁离子"结构的工艺: 微滤预工作 :1μm瓷器膜阻拦大颗粒物硅,通量达到80LMH 铝离子更换不饱和树脂 :D201大孔树脂胶挑选性吸硅酸氧分子 特殊RO操作系统 :第1段收售率60%,第十二段主要采用高脱硼膜元器件封装 EDI电去铝离子 :瞬时电流高密度2A/m²,连续清理残存铁离子 分光光度计消毒杀菌 :254nm紫外光线的用药量40mJ/cm² 技术设备特色 开发技术使用阻硅剂(有机质胺类和好物),延长膜被污染的期限3倍 EDI版块创新发展流道来设计,硅除掉率改善至99.8% 网上硅定性分析仪器(衡量时间范围0.1-500μg/L)推动优质有效控制 运动效益 经再者方检测工具: 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L降下来0.3μg/L 体系回笼率从原40%提高了至68% 膜更改周期性延迟至5年,年运营直接费用缩减35%

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